Project Description

GATE VALVE (GV04)

Valve 용도

∙반도체, FPD, 진공관련 장비

Gate Size

Gate Size : 150mm

VALVE 치수표

A B C D E F G
198 130 48 410.7 547.7 148 180

기술 Data

설계압력 ATM ~ 1.3×10-7 Pa
설계온도
Body 150 ℃
Actuator 60 ℃
재질
Housing SUS 304
Gate SUS 304
He Leak 보증
본체 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작부 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작압력 0.5 MPa
실린더 Air 소비량 ≒ 4ℓ /min (Cylinder )
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 16.4 kg

Seal 부위 및 구성

특징

– Gate Plate 판 Sping Stopper 기능 이원화 -> 충격 부하 감소로 구동 Particle 최소화
– Metal Touch Peek 추가