Project Description

LARGE DOOR VALVE (LV01)
Valve 용도
∙디스플레이, FPD, 진공관련 장비
∙마찰 및 진동 감소
∙정압, 역압 대응
∙직선 운동 / 회전방지 PISTON 적용
Gate Size
Gate Size (mm) : 850㎜ x 180㎜
VALVE 치수표

A | B | C | D |
---|---|---|---|
143.3 | 170 | 490 | 359 |
기술 Data
설계압력 | ATM ~ 1.3×10-7 Pa |
---|---|
설계온도 | |
Body | 150 ℃ |
Actuator | 80 ℃ |
재질 | |
Cassette | SUS 304 |
Gate | AL 5052 |
He Leak 보증 | |
본체 | 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하 |
동작부 | 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하 |
동작압력 | ≥ 0.55 MPa |
실린더 Air 소비량 | ≒ 1,061 ℓ/min ( Dual Cylinder ) |
보증기간 | 출하일로부터 12개월 |
수명 | 1,000,000 회 |
중량 | ≒ 320 kg |
Seal 부위 및 구성

특징
Valve
· CASSETTE TYPE (INSERT FLANGE TYPE)
· 정압, 역압 대응
· 마찰 및 진동 감소
Actuator
· SHAFT SEAL : BELLOWS / O-RING
· 고온사양 대응
· CYLINDER 회전방지 PISTON 적용