Project Description

LARGE DOOR VALVE (LV01)

Valve 용도

∙디스플레이, FPD, 진공관련 장비
∙마찰 및 진동 감소
∙정압, 역압 대응
∙직선 운동 / 회전방지 PISTON 적용

Gate Size

Gate Size (mm) : 850㎜ x 180㎜

VALVE 치수표

A B C D
143.3 170 490 359

기술 Data

설계압력 ATM ~ 1.3×10-7 Pa
설계온도
Body 150 ℃
Actuator 80 ℃
재질
Cassette SUS 304
Gate AL 5052
He Leak 보증
본체 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작부 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작압력 ≥ 0.55 MPa
실린더 Air 소비량 ≒ 1,061 ℓ/min ( Dual Cylinder )
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 320 kg

Seal 부위 및 구성

특징

Valve
· CASSETTE TYPE (INSERT FLANGE TYPE)
· 정압, 역압 대응
· 마찰 및 진동 감소

Actuator
· SHAFT SEAL : BELLOWS / O-RING
· 고온사양 대응
· CYLINDER 회전방지 PISTON 적용