Project Description

DUAL SEAL GATE VALVE (LV06)

Valve 용도

∙FPD 진공관련 장비
∙SPT, ETCH공정
∙정압화 VALVE

Gate Size

Gate Size (mm) : 1600 (W) x 300 (H)

ATM VALVE 치수표

기술 Data

설계압력 ATM ~ 1.2×10-6 Pa
설계온도 Body : 150 ℃ , Actuator : 80 ℃
재질 Body : SUS 304 , Gate : AL 6061
He Leak 보증 본체 : 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하 , 동작부 : 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작압력 0.5 ~ 0.7 Mpa (Push 0.3 ~ 0.5 Mpa)
실린더 Air 소비량 ≒ 236 ℓ/min (Dual Cylinder) 12회/MIN
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 796 kg

Seal 부위 및 구성

Options

·승강 위치 검출 기능
·Push/Pull 위치 검출 기능
·Case Inter Lock Sensor 적용 가능
·동작시간 FDC 구현 가능
·Case 내부 압력 Sensor Range
·Push Air Pressure FDC 구현 가능

특장점

·T-MOTION 양면 SEAL 가능
·Gate Valve 정압화 (역압 미발생)
·개별 Seal Plate 교체 및 상부 탈착 Maint (무 정지 PM)
·Seal O-ring 눌림 개선 (Particle 및 Life Time 개선)
·승강부 상부 탈착 Maint 적용 가능 (Case 폭 250T기준)