Project Description

SLIT VALVE (SV02)

Valve 용도

∙반도체, FPD, 진공관련 장비
∙Lower Particle & Vibration
∙One Body Cylinder
∙Cylinder Inside Interlock

Gate Size

Gate Size (mm) / mm : 230mm x 46mm / 200

VALVE 치수표

기술 Data

설계압력 ATM ~ 1.2×10-5Pa
설계온도 Body : 150 ℃ , Actuator : 60 ℃ , Position Indicator : 80 ℃
재질 Body : AL 6061 , Gate : AL 6061
He Leak 보증 본체 : 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하 , 동작부 : 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작압력 0.4 ~ 0.7 MPa
실린더 Air 소비량 ≒ 14.8 ℓ/min (Dual Cylinder)
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 5 kg

Seal 부위 및 구성

Options

Valve
-고객 요구 체결 Flange에 맞춘 Seal 면 대응
-Gate Plate Size : 고객 요구사항 별도 상담

Actuator
-SHAFT SEAL : BELLOWS / O-RING
-고온사양 대응
-Sensor Connector 설치