Project Description

SLIT VALVE (SV06)

Valve 용도

∙반도체, 진공관련 장비

Gate Size

Gate Size (mm) / mm : 332㎜ x 56㎜ / 300

VALVE 치수표

A B C D E F G
332 110 363.8 274.7 33 56.1 51

기술 Data

설계압력 1.0×105 ~ 1.3×10-7 Pa
설계온도
Body 150 ℃
Actuator 60 ℃
재질
Body AL 6061
Gate SUS 304
Bellows AM350
He Leak 보증
본체 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작부 정압 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작압력 0.5 (0.45 ~ 0.7) Mpa
실린더 Air 소비량 ≒ 7 ℓ/min
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 12 kg

Seal 부위 및 구성

Options

– Sensor Connector 설치