Project Description
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L-MOTION SLIT VALVE (SV12)
Valve 용도
FPD 진공관련 장비
Gate Size
Open Hole Size (mm) : 490 (W) x 110 (H)
ATM VALVE 치수표
기술 Data
| 설계압력 | 1.0×105 ~ 1.2×10-5 Pa |
|---|---|
| 설계온도 | Body : 150 ℃ , Actuator : 60 ℃ |
| 재질 | Gate Plate : AL 6061 (HARD Anodizing) , Bellows : AM350 |
| He Leak 보증 | Housing : 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하 , Actuator : 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하 (역압) |
| 동작압력 | 0.5 ~ 0.7 MPa |
| 실린더 Air 소비량 | ≒ 86.4 ℓ/min (8.5회/MIN) |
| 보증기간 | 출하일로부터 12개월 |
| 수명 | 1,000,000 회 |
| 중량 | ≒ 70 kg |
Seal 부위 및 구성
