Project Description

SLIT VALVE (SV14)

Valve 용도

∙반도체, 진공관련 장비

Gate Size

Open Hole Size (mm) : 410 (W) x 80 (H)

ATM VALVE 치수표

A B C D E F G H I J
560 440 658 536 400 116 120 230 60 99.3

기술 Data

설계압력 1.0×105 ~ 1.3×10-7 Pa
설계온도
Body 150 ℃
Actuator 60 ℃
재질
Gate Plate AL 6061
Base Plate AL 6061
He Leak 보증
Housing –
Actuator 정압 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작압력 0.5 ~ 0.6 MPa
실린더 Air 소비량 ≒ 48.5 ℓ/min(8.5회/MIN)
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 17 kg

Seal 부위 및 구성

Options

– Cassette Plate 체결방식
– 상/하부 Dual type
– Sol-Box