Project Description

L-MOTION VALVE (SV17)

Valve 용도

FPD 진공관련 장비

Gate Size

Open Hole Size (mm) : 236 (W) x 46 (H)

VALVE 치수표

기술 Data

설계압력 ATM ~ 1.2×10-5 Pa
설계온도 Body : 150 ℃ , Actuator : 60 ℃
재질 Shaft : SUS630 , Bellows : AM350
He Leak 보증 Housing : N/A (Non Housing type) , Actuator : 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하 (역압)
동작압력 0.45 ~ 0.6 MPa
실린더 Air 소비량 ≒ 11 ℓ/min (10회/MIN)
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 13 kg

Seal 부위 및 구성

Options

·CAM FOLLOWER BEARING 사용
·SMC社 200mm(8인치) VALVE 호환 사용

특장점

·BASE 하부로 구동부 구성 (구동부 일체화)
·Glass 투입구 에 갈림 비산 방지 및 Particle 최소화
·밸브 전체의 간편한 탈 부착으로 편리한 유지보수