Project Description

Rocker Door VALVE (TV01/TV02)

Valve 용도

∙반도체, 진공관련 장비

Gate Size

Gate Size (mm) / mm : 337㎜ x 51㎜ / 300

VALVE 치수표

A B C D E F G
211 158 562.7 521.1 41.6 481.1 165

기술 Data

설계압력 1.0×105 ~ 1.2×10-7 Pa
설계온도
Body 150 ℃
Actuator 60 ℃
재질
Body AL 6061
Guide Shaft S45C (후처리)
He Leak 보증
본체 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작부 정/역압 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하
동작압력 0.5 ~ 0.7 MPa
실린더 Air 소비량 ≒ 40 ℓ/min(15회/MIN)
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 26 kg

Seal 부위 및 구성

특/장점

– 프로세스 챔버 – 트랜스퍼 챔버의 선택적 클로즈
– 간편한 실린더 교체로 설비 중단 시간 단축
– 실린더류에 듀얼 실 방식으로 식각 최소화
– 좌/우 챔버의 개별 실로 버큠 유지 및 설비 구동 대기시간 단축