Project Description

L-MOTION ATM VALVE (TV08)

Valve 용도

FPD 진공관련 장비

Gate Size

Open Hole Size (mm) : 490 (W) x 110 (H)

VALVE 치수표

기술 Data

설계압력 ATM ~ 1.2×10-5 Pa
설계온도 Body : 150 ℃ , Actuator : 60 ℃
재질 Gate Plate : AL6061(Hard-Anodizing), Shaft :SUS304
He Leak 보증 Housing : 1.0 x 10-9 Pa . m3/s 이하(정압) , Actuator :ATM
동작압력 0.5 ~ 0.7 MPa
실린더 Air 소비량 ≒ 14.58ℓ/min (8.5회/min)
보증기간 출하일로부터 12개월
수명 1,000,000 회
중량 ≒ 32 kg

Seal 부위 및 구성

Options

·CAM FOLLOWER BEARING 사용

특장점

·Base 하부 Cylinder 구성으로 개폐 부 Particle 최소화
·L-Motion Close setting 간편
·간편한 Gate Plate 탈 부착 O-ring 교체 간편